半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
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该客户座落在河北省扬州市,具体跨专业高档半导体器件集成块的封裝测试软件,日的排放量废储水量约200吨。随着的生产的时候中在使用很多充分化学的药剂,污废水 基本成分繁多,包含的高氧化还原电位铜、镍等血本属和环氧漆硅胶粘合剂、光刻胶等充分环境破坏物。客户改变解决服务设施时未足够2017最新的排放量标淮,继续购买专用汽车提升等级改良。
废水处理工艺材质及从何而来
真空电镀化工废水
:收入于存储芯片引脚镀膜环节,有铜、镍、锡等血本属正离子,pH值震荡大。
有机化学工业废水
:通常来源封口胶凝固、光刻流程,具有丙稀酸不饱和树脂、异丙醇、异丙醇等生物碳稀释剂。
酸碱平衡化工废水
:所产生于晶圆清洁工作和蚀刻繁琐流程,具有盐酸、硝酸钠、氢氧化的钠等。
处理工艺方案方案
预补救第一阶段
碱酸采和
:进行投加系统化转换pH至6-9,逃避后期的治疗的设备生锈。
混凝土沉淀出的
:添加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),祛除浮悬物和部位巨资属。
关键外理环节
高层腐蚀
:主要包括Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)拆分难吸附设计物,COD洗去率达70%上。
膜活性炭过滤
:反侵入装置(UF)+反侵入(RO)组合式工艺流程,进一部虚报冒领高价属和溶解出来性无机物。
深层次治疗分阶段
铁离子互转
:专用根据铜、镍正离子,为了确保有水出高价属份量降到0.5mg/L。
化学活化炭吸附剂
:当做终极保驾护航,快速清理剩余的微量分析生物碳物。
终于体验
经工作后,喷水生活饮用水量超过《微电子工业化的水破坏物的排放条件》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,中水回用率优化至60%,第二年降低用水量成本预算约80来万。