半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
工程背静
该中小中小企业为世界十大智领的半导体电子器件首测中小中小企业,坐落粤港澳大湾区型省份,基本确定高级电子器件的小学划片和装封测试软件。由本地环境请求严格规范,中小中小企业绝对执行废污水达标排放出建筑好项目。好项目于2020年开机启动,202三年6月投入使用开工,处置经营规模为200吨/日,总融资约2000万多。
污废水 的成分及源头
本次的划区污废水 还具有之下优势:
高盐氧浓度氟化物,首要根据晶圆锯开后的洗掉加工过程,氟阳离子盐氧浓度达150-200mg/L
包含的nm级硅粉颗粒剂,比表面积多在100-500nm相互
巧妙功率较高,COD在500-800mg/L
具有刺激性微量分析巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,大多数在2000-3000μS/cm
办理生产工艺具体流程
为达到零排污梦想,鑫霖环保的设计比较偏重考虑到废水处理方法各类收藏和資源再利用:
废污水等级分类采集装置
:将含氟电镀生产废水与其他的电镀生产废水单独获得
化学反应积淀除氟
:主要包括有级钙盐凝固自己法,听取高凝固自己池
初中级腐蚀进行处理
:三氧催化反应硫化溶解难加工有机质物
膜沉淀机系统
:选用DTRO碟管式反进行渗透,浓缩液数倍为10倍
蒸发掉凝结
:MVR机挤压空气再挤压挥发器处理浓水
干澡系统性
:将析出盐干后当做轻工业副类产品外售
清理郊果
软件执行数据统计体现 :
氟化物快速清理率>99.9%,满水后氟化合物<1mg/L
COD总清理率>98%,留水COD<20mg/L
水成本收购 率>95%,仅产生大量成果盐
去年可收购 优秀保证中水回用水约七万之吨
沉淀盐溶解度达到重工业级规范,达到市场化凭借
品牌既保证了化工废水零产生,还确认影视资源收购 带来了约80来万/年的三倍受益。