该晶圆制作厂座落西北沿海地区,主要制造8寸大半导体芯片晶圆,单日电镀废水污染物量约800吨。考虑到制造进程中利用非常多盐酸来进行晶圆蚀刻,影响电镀废水内氟化物渗透压将高达200-300mg/L,远超各国污染物规则(10mg/L如下)。
废渣成份及种类
生产废水主要是原于4个原则:
晶圆蚀刻多种工序
:含高氧浓度氟化物(HF)、氰化钠及极少量巨资属
化学式机械化拋光(CMP)废水处理
:含奈米级硅颗粒状、有机化学络合剂
设配擦拭化工废水
:含异丙醇、氟化物等有机质物
加工处理的工艺鑫霖环保流程
选用"药剂学滤渣+混凝土滤渣+深入油烟净化器"一级治理 整体:
4级办理
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,转变成氟化钙放置,氟化物的还原率达85%
二级考试办理
:加入PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),出掉电解质溶液态空气污染物质
三级视频外理
:确认多物料过滤清洁器和亲水性炭吸咐,出水量氟化物溶度增强在8mg/L一些
关健设施设备分为:pH自行调理系统性、斜管沉淀出的池、板框过滤机(污泥处理脱水过滤)。
终极目的
投资项目正常运行一年数据资料统计数据资料界面显示:
氟化物年均含量:7.2mg/L(不低于地区标准规定)
COD取除率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年环保再生能源回收氟化钙副企业产品约150吨,构建能源化合理利用