该厂为8厘米晶圆生产的线设施的超蒸馏水系统的，整天诞生含硅生产废水150吨。生产废河中虽无高价属，但硅占比高易水垢，且热敏电阻率需可达到18MΩ·cm能够使用。以往整理工学艺不可做到新施行的《网络工业化的水破坏物废气标准规范》（GB39731-2020）专门废气限制值。 污水成份性能 主要造成的污染源 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（比表面积0.1-1μm） 特异标准 ：TOC<10μg/L，硼量<5μg/L 水质量功能 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅单质状态繁多 进行处理加工过程标准流程 科学创新选取"梯级膜区分+电去正离子"组合起来工艺技术： 微滤预清理 ：1μm瓷器膜手机拦截大颗粒剂硅，通量长期保持80LMH 正离子对调环氧树脂 ：D201大孔树脂材料挑选性过滤硅酸原子核 二级考试RO体系 ：首位段回收利用率60%，第二种段选取高脱硼膜器件 EDI电去阴阳离子 ：直流电压密度计算公式2A/m²，快速避开残存铁离子 太阳光的紫外线臭氧消毒 ：254nm分光光度计线服用量40mJ/cm² 高技术不足之处 设计专业化阻硅剂（生物碳胺类挽回物），廷缓膜造成的污染定期3倍 EDI输出模块信息化流道开发，硅快速清理率完善至99.8% 在线视频硅分享仪（预估范畴0.1-500μg/L）推动识贫控住 运转功效 经第三方的协议书方检查： 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼含水量从8μg/L下降0.3μg/L 软件系统再利用率从原40%提升自己至68% 膜更改时间段增加至5年，年工作投资成本减轻35%