西安某半导体器件鑫霖环保芯片营造厂，晶圆加工厂时中带来含硅、氟的特出生活污水，构思除理产值1200吨/日。生活污水组成成分很复杂，含带纳米技术级硅粒状及氢佛酸，传统与现代除理的方法得以未达标。 废污水材料及来历 一般环境破坏物 ：电解质溶液硅（100-500nm粒级）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 起源加工过程 ：晶圆刻蚀废液（45%）、CMP耐腐蚀机cnc精密机械加工废液（40%）、产品擦拭水（15%） 整理工艺的流程的流程 科技创新采取"耐腐蚀奠定+持种膜区分"技木风格： 钙盐沉淀物中 ：污泥脱水氯化钙的还原氟亚铁离子（转换CaF2沉淀自己） 斜管沉淀池体现 ：黏结二沉池剂构建电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜挪作他用微细颗粒剂 反融入软件系统 ：脱盐率>98%，二手回成品率75% 汽化成果 ：浓水段实现了氟化物零尾气排放 后面成果 氟化物盐浓度：<8mg/L（超过地区4级标准规范10mg/L） 硅分量：<5mg/L 我国水资源量循环率：70%用作制冷塔保湿 危废处理减低：挥发残留物量较过去艺减低60%